等離子體指部分或完全電離的氣體，且自由電子和離子所帶正、負(fù)電荷的總和完全抵消，宏觀上呈現(xiàn)中性電。等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。
與傳統(tǒng)的方法相比，等離子體表面處理具有成本低、無(wú)廢棄物、無(wú)污染等顯著的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)可以得到傳統(tǒng)的化學(xué)方法難以達(dá)到的處理效果?，F(xiàn)在低溫等離子設(shè)備廣泛運(yùn)用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領(lǐng)域。
等離子設(shè)備中頻，射頻等離子處理機(jī)型；處理方式有水平、垂直、卷式RTR、轉(zhuǎn)鼓等真空等離子處理設(shè)備和噴射、準(zhǔn)輝光、隧道、水平線(xiàn)多種常壓等離子處理設(shè)備；
等離子處理機(jī)具有高穩(wěn)定性、高性?xún)r(jià)比、高均勻性等諸多優(yōu)點(diǎn)。
特色鮮明的處理腔體形狀和電極結(jié)構(gòu)可以滿(mǎn)足不同形狀、不同材質(zhì)的表面處理要求，包括薄膜、織物、零件、粉體和顆粒等。