真空泵特點(diǎn):
啟動(dòng)快,耗工少。運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低,抽速大、效率高,對(duì)被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感,有較大抽氣速率,能迅速排出突然放出的氣體。這個(gè)壓力范圍恰好處于油封式機(jī)械真空泵與擴(kuò)散泵之間。因此,它常被串聯(lián)在擴(kuò)散泵與油封式機(jī)械真空泵之間,用來提高中間壓力范圍的抽氣量。這時(shí)它又被稱為機(jī)械增壓泵。
羅茨真空泵簡(jiǎn)介 一、羅茨真空泵的概念 羅茨式真空泵(簡(jiǎn)稱羅茨泵)是利用兩個(gè)8字形轉(zhuǎn)子在泵殼中旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的。由于它在低壓力范圍內(nèi)工作,氣體分子自由程較大,氣體通過微小縫隙的阻力很大,因而能獲得較高的壓縮比,可以作為增壓真空泵使用。 羅茨式真空泵根據(jù)泵體結(jié)構(gòu)可分為兩類:一類為普通型,另一類為直排大氣型。
二者區(qū)別除結(jié)構(gòu)之外,主要是普通型羅茨泵不能單獨(dú)把氣體直接排入大氣中去,需要和前級(jí)真空泵串聯(lián)使用,被抽氣體通過前級(jí)真空泵將氣體排到大氣中。而后者則可以直接將被抽氣體排入大氣。漢鐘現(xiàn)有PS和PDR系列真空泵中的Booster機(jī)體就屬于普通型羅茨泵。普通型羅茨泵又可分為一般型泵和帶旁通閥型泵兩種。

一般型泵的最大允許壓差在2000Pa~10000Pa范圍,而帶旁通閥的壓差僅限于2000Pa~4000Pa。當(dāng)壓差超過每一規(guī)格泵的規(guī)定值時(shí),旁通閥就會(huì)自動(dòng)頂開,泵出口出的氣體經(jīng)旁通閥返流入進(jìn)口處,以使泵安全運(yùn)行
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