Kanomax 超小型粒子計數(shù)器3950
顛覆性的技術革新,致輕、致小,完美實現(xiàn)了嵌入組裝在半導體制造等裝置中
2.83L/min,同時測試0.1、0.3μm微小粒子
4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏
可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)
設有RS-485、Ethernet、USB通訊接口
品 名
|
塵埃粒子計數(shù)器
|
型 號
|
3950
|
粒子測量
|
測試方法
|
光散射法
|
粒徑通道
|
2粒徑(0.1、0.3μm)
|
額定流量
|
0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4)
|
測量時間
|
6秒~99分59秒(1次測量時間)
|
間隔時間
|
6秒~99分59秒(測量周期)
|
采樣次數(shù)
|
1~999次 或 連續(xù)測試
|
地點設定
|
99個地點
|
測量方式
|
重復、單次、連續(xù)、計算、ISO , GB*(共6種模式)
|
測量數(shù)據(jù)顯示時間
|
1~10秒
|
測量數(shù)據(jù)顯示
|
累計值∑ 差分值△及柱形圖
|
最大可測濃度
|
10,000,000個/m3
|
計數(shù)效率
|
50±20%(相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子)
100±10%(相對于最小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)
|
偽 計 數(shù)
|
<1個/35min
|
粒徑分辨率
|
15%以下(相對0.3μm的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)
|
氣 源
|
內(nèi)置泵
|
顯示器
|
4.3英寸彩色液晶 觸摸屏
|
通迅功能
|
本 體
|
USB(Host用于打印機、USB存儲;Device用于與PC鏈接)
Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud)
|
數(shù)據(jù)存儲
|
媒 體
|
內(nèi)存
|
數(shù)量、格式
|
最大10,000個、CSV格式
|
顯示語言
|
英文、日語
|
電 源
|
AC100~240V
|
使用環(huán)境
|
本 體
|
15~35℃、0~85%RH (無結露)
|
外形尺寸
|
W150 X H163 X D228 mm
|
重 量
|
3.4kg
|
Kanomax 超小型粒子計數(shù)器3950