Kanomax 超小型粒子計數(shù)器3950
顛覆性的技術革新，致輕、致小，完美實現(xiàn)了嵌入組裝在半導體制造等裝置中
2.83L/min，同時測試0.1、0.3μm微小粒子
4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏
可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)
設有RS-485、Ethernet、USB通訊接口
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品 名
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塵埃粒子計數(shù)器
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型 號
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3950
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粒子測量
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測試方法
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光散射法
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粒徑通道
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2粒徑（0.1、0.3μm）
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額定流量
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0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4)
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測量時間
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6秒~99分59秒（1次測量時間）
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間隔時間
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6秒~99分59秒（測量周期）
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采樣次數(shù)
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1~999次 或 連續(xù)測試
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地點設定
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99個地點
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測量方式
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重復、單次、連續(xù)、計算、ISO , GB*（共6種模式）
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測量數(shù)據(jù)顯示時間
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1~10秒
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測量數(shù)據(jù)顯示
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累計值∑ 差分值△及柱形圖
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最大可測濃度
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10,000,000個/m3
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計數(shù)效率
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50±20%（相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子）
100±10%（相對于最小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子）
（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
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偽 計 數(shù)
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<1個/35min
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粒徑分辨率
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15%以下（相對0.3μm的PSL粒子）
（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
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氣 源
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內(nèi)置泵
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顯示器
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4.3英寸彩色液晶 觸摸屏
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通迅功能
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本 體
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USB（Host用于打印機、USB存儲；Device用于與PC鏈接）
Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud）
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數(shù)據(jù)存儲
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媒 體
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內(nèi)存
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數(shù)量、格式
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最大10,000個、CSV格式
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顯示語言
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英文、日語
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電 源
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AC100~240V
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使用環(huán)境
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本 體
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15~35℃、0~85%RH （無結露）
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外形尺寸
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W150 X H163 X D228 mm
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重 量
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3.4kg
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Kanomax 超小型粒子計數(shù)器3950