作為半導(dǎo)體制造的“血液”，各類電子氣會大量的被應(yīng)用到半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)中，這些電子氣大多具有有毒、易燃、腐蝕等特性，這就要求從氣源到用氣點的整個供氣管路中的設(shè)備必須完全可靠，針對氣體的腐蝕性，如果想保證氣體設(shè)備的高性能的同時延長使用壽命，這里有幾種選項供您參考。
許多因素都會造成氣體設(shè)備的腐蝕，如環(huán)境因素（潮濕或者含鹽的海洋環(huán)境）造成的外部腐蝕，或者腐蝕性氣體和設(shè)備反應(yīng)造成的內(nèi)部腐蝕。后一種情況不僅會造成人身的健康和安全風(fēng)險，同時也會影響氣體的純度，產(chǎn)生顆粒物對后端的工藝造成不可預(yù)知的風(fēng)險。所以，氣體設(shè)備的正確防護是應(yīng)對此類工況的最基本措施。ROTAREX與氣體公司合作近百年，積累了豐富的經(jīng)驗及廣泛的專業(yè)知識，針對您的各種特殊應(yīng)用工況，我們都會幫您找到合適的解決方案。
首要且最重要的事是選擇適合您的應(yīng)用工況，并且與氣體兼容性最好的材料：黃銅，不銹鋼，鋁或者各種合金（哈氏合金，蒙乃爾合金，鋁硅銅合金等），ROTAREX對各種材料的耐腐蝕性有較深的了解，另外，針對材料的選型及兼容性，我們還擁有一個數(shù)據(jù)庫，此數(shù)據(jù)庫涵蓋了本體材質(zhì)和內(nèi)部零配件與超過千種不同的介質(zhì)的兼容性等信息。
并延長其使用壽命?
在選擇了材料之后，您可能還需要其它的防腐蝕措施，如：表面涂層，材質(zhì)處理或者表面拋光等，如果氣體設(shè)備應(yīng)用于特殊的，非常規(guī)的工況，這些防腐蝕措施尤為重要。對于氣體設(shè)備的內(nèi)/外部的防腐蝕措施，ROTAREX可以提供您合適的解決方案。
根據(jù)本體材質(zhì)的不同，選擇合適的處理來進一步保護氣體設(shè)備免受外部腐蝕，如：表面鍍鎳，鉻，PTFE，或者陽極氧化處理及簡單的噴涂。如果氣體設(shè)備同時也遭受內(nèi)部的腐蝕，相對來說會更復(fù)雜。除了本體材料以外，也要分析與氣體接觸的內(nèi)部零配件，以提供更合適的腐蝕防護。表面處理如減少零配件間的磨損來提高氣體兼容性，而鈍化處理及電解拋光可通過提高表面的鉻鐵比來提高設(shè)備的耐腐蝕性。
有時，還需要在零部件內(nèi)部進行涂層處理，可以使用SiO2涂層或者鍍銀，也或者是采用鍍金或鍍鉑工藝， 在某些情況下，ROTAREX會使用化學(xué)氣相沉積工藝（CVD）來將涂層鍍到設(shè)備表面，這種工藝專為不銹鋼材質(zhì)設(shè)計，但有時候也會用在合金材質(zhì)上，用以形成一層全覆蓋、耐用的涂層來耐受極端溫度和壓力。除了傳統(tǒng)的表面涂層之外，在鋼瓶閥及氣體設(shè)備的表面，ROTAREX同時也能提供特殊的硅涂層，此涂層是惰性及非反應(yīng)性涂層，如果您需要對氣體進行持續(xù)的采樣和分析，這種涂層是理想之選。
ROTAREX 解決方案
無論何種工況，ROTAREX都可以為您找到最適合的解決方案，確保最優(yōu)化的設(shè)備性能安全性以及使用壽命。
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