無塵車間標準所使用的粒徑的測量單位是微米，1微米等于百萬分之一米。

    無塵車間的級別是按其空氣潔凈度劃分的，美國聯邦標準準209A至D的無塵車間分級最容易理解，但該等級正被最新版本E所取代，后來又被ISO-14644-1所取代，盡管如此，老版本仍被廣泛采用，在聯邦標準的老版本中（A至D），大于等于0.5um粒子的數量是按每立方英尺空氣計數的，并以此計算和劃分無塵車間的等級，而最新的聯邦209E標準采用了公制，到1999年，頒布了ISO 14644-1，該標準已經被歐洲所有國家采用，并逐淅為世界其他國家所采用。

應當注意的是，無塵車間的ISO 14644-1級別與聯邦標準209的級別可以轉換，如果ISO標準的每立方米粒子濃度被35.2除，就轉換成每立方英尺的粒子計數。

    ISO 14644-1規(guī)定的占用狀態(tài)如下：

    “空態(tài)”：無塵車間所有設施要安裝完畢并在工作，但無生產設備，材料或人員在場。

    “靜態(tài)”：無塵車間所有設施在運行，生產設備安裝完畢并以供需雙方同意的方式運行，但無人員在場。

    “動態(tài)”：設施、設備以規(guī)定的方式運行，有規(guī)定數量的人員按事先同意的方式在工作。

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