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太陽能光伏技術知識詳解(二)

發布時間:2011年12月30日 來源:OFweek太陽能光伏網

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  在第一期中,我們為大家概括介紹了太陽能發電原理、太陽能電池、太陽能電池組件、光伏控制器、光伏逆變器等內容。接下來將開始深入地講解。本期我們將著重說明太陽能電池的制造工藝詳細流程、單晶硅和多晶硅的區別、單晶硅和多晶硅電池片的區別以及逆變器的概念,將知識串連起來以便讀者學習和了解。


  晶體硅太陽能電池的制造工藝流程


  晶體硅太陽能電池的制造工藝流程說明如下:


  (1)切片:采用多線切割,將硅棒切割成正方形的硅片。


  (2)清洗:用常規的硅片清洗方法清洗,然后用酸(或堿)溶液將硅片表面切割損傷層除去30-50um。


  (3)制備絨面:用堿溶液對硅片進行各向異性腐蝕在硅片表面制備絨面。


  (4)磷擴散:采用涂布源(或液態源,或固態氮化磷片狀源)進行擴散,制成PN+結,結深一般為0.3-0.5um。


  (5)周邊刻蝕:擴散時在硅片周邊表面形成的擴散層,會使電池上下電極短路,用掩蔽濕法腐蝕或等離子干法腐蝕去除周邊擴散層。


  (6)去除背面PN+結。常用濕法腐蝕或磨片法除去背面PN+結。


  (7)制作上下電極:用真空蒸鍍、化學鍍鎳或鋁漿印刷燒結等工藝。先制作下電極,然后制作上電極。鋁漿印刷是大量采用的工藝方法。


  (8)制作減反射膜:為了減少入反射損失,要在硅片表面上復蓋一層減反射膜。制作減反射膜的材料有MgF2 ,SiO2 ,Al2O3 ,SiO ,Si3N4 ,TiO2 ,Ta2O5等。工藝方法可用真空鍍膜法、離子鍍膜法,濺射法、印刷法、PECVD法或噴涂法等。


  (9)燒結:將電池芯片燒結于鎳或銅的底板上。


  (10)測試分檔:按規定參數規范,測試分類。


  由此可見,太陽能電池芯片的制造采用的工藝方法與半導體器件基本相同,生產的工藝設備也基本相同,但工藝加工精度遠低于積體電路芯片的制造要求,這為太陽能電池的規模生產提供了有利條件。

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