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世界首發(fā)16×16單元型MEMS非接觸式溫度傳感器

發(fā)布時(shí)間: 來源:深圳市銘之光電子技術(shù)有限公司

歐姆龍已完成世界首次應(yīng)用晶圓級(jí)真空封裝技術(shù)的紅外線傳感器的研發(fā),成功開發(fā)了具有90度廣視野范圍并可實(shí)現(xiàn)高精度區(qū)域溫度檢測(cè)的16x16單元型非接觸式溫度傳感器,并....

歐姆龍已完成世界首次應(yīng)用晶圓級(jí)真空封裝技術(shù)的紅外線傳感器的研發(fā),成功開發(fā)了具有90度廣視野范圍并可實(shí)現(xiàn)高精度區(qū)域溫度檢測(cè)的16x16單元型非接觸式溫度感器,并擬于201310月開始出售樣品。

 

  近年來,隨著家庭及辦公場(chǎng)所對(duì)節(jié)能的意識(shí)不斷提高,在節(jié)能的同時(shí)還致力于實(shí)現(xiàn)舒適生活的智能家居,以及為必要的地方提供必要亮度的照明,并可實(shí)現(xiàn)節(jié)能與舒適性兩全其美的應(yīng)需環(huán)境照明(Task-Ambient Lighting System)等的智能辦公室已經(jīng)過研究階段進(jìn)入了驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)的階段。其中,作為掌握人數(shù)及人物所處位置的關(guān)鍵件,人感傳感器的需求正在不斷高漲。

 

  由于普遍用于人感傳感器的熱電傳感器無法檢測(cè)靜止不動(dòng)的人物,所以難以檢測(cè)人數(shù)及人物所處位置。鑒于這種情況,歐姆龍開發(fā)了能夠檢測(cè)靜止人物,具有90度廣視野范圍并可實(shí)現(xiàn)高精度區(qū)域溫度檢測(cè),用于人感傳感器的16×16單元型MEMS非接觸式溫度傳感器。

 

  MEMS非接觸式溫度傳感器是通過應(yīng)用MEMS技術(shù)的熱電堆將對(duì)象物體發(fā)出的紅外線能源變?yōu)闊崮?,并通過兩種金屬接點(diǎn)之間溫差所形成的熱電動(dòng)勢(shì)測(cè)量溫度。但由于熱電堆所轉(zhuǎn)換的熱能大多數(shù)都會(huì)通過空氣散失,所以在金屬接點(diǎn)之間難以形成較大的溫差,致使熱電動(dòng)勢(shì)變小,無法提高靈敏度。

 

  這次,世界首次成功將熱電堆真空封裝在芯片內(nèi)。采用真空封裝即可避免將熱電堆轉(zhuǎn)換的熱能散失在空氣中,使金屬接點(diǎn)之間的溫差變大,從而可實(shí)現(xiàn)更高的靈敏度。

 

  今后將與用于檢測(cè)人數(shù)及人物所處位置的演算法及非接觸式溫度傳感器結(jié)合在一起,作為組件化的人體傳感器竭力實(shí)現(xiàn)商品化。

 

  配有該非接觸式溫度傳感器的人感傳感器展品將于73(周三)5(周五),在日本東京Big Sight舉辦的“Nano Micro Biz 2013(Micro Machine / MEMS展覽會(huì))”展出。

 

  本項(xiàng)開發(fā)是通過與新能源產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合開發(fā)機(jī)構(gòu)NEDO(New Energy and Industrial Technology Development Organization)的共同研究業(yè)務(wù)所獲得成果。

 

  截至2013529日,根據(jù)本公司調(diào)查。作為MEMS非接觸式溫度傳感器。

 

  特點(diǎn)

 

  通過采用熱電堆的方式,可檢測(cè)熱電傳感器無法檢測(cè)的靜止人物,最適用于人感傳感器。

 

  通過采用256像素(16×16單元)的二維區(qū)域溫度檢測(cè),提高人物所處位置的檢測(cè)精度。

 

  擁有90度的廣視野角度,可檢測(cè)廣范圍的區(qū)域溫度。例如,對(duì)于原需裝配4個(gè)45度視野角度傳感器的區(qū)域,僅需用1個(gè)傳感器即可檢測(cè)。

 

  因能實(shí)現(xiàn)4/(幀速率:每秒的畫面輸出次數(shù))的高速溫度輸出,所以可檢測(cè)以1.0/秒的速度移動(dòng)的人物。

 

轉(zhuǎn)載自傳感器專家網(wǎng)http://www.sensorexpert.com.cn/

 


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