按臭氧產生的方式劃分，目前的臭氧發生器主要有三種：高壓放電式、紫外線照射式、電解式。

臭氧發生器釋放的活氧在環境中可自然分解為氧，這是活氧作為消毒滅菌劑的獨特優點。活氧利用空氣中的氧氣產生的，消毒氧化過程中，多余的氧原子（O）在30分鐘后又結合成為分子氧（O2），不存在任何殘留物質，解決了消毒劑消毒時，殘留物的二次污染問題，同時省去了消毒結束后的再次清潔。活氧殺菌設備一般安裝在室內或中央空調系統、空氣凈化系統中，或者是滅菌設備中（如活氧消毒滅菌柜、傳遞窗等）。可根據滅菌所需濃度及時間，自動設置活氧滅菌設備的定時控制，操作使用方便。