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凈化工程中的純氣的影響及難點分析

發布時間:2013年4月7日 來源:無錫市陳晨凈化設備工程有限公司

凈化工程中的純氣的影響說明在IC的加工與制造封裝中,凈化工程高純的氣體可作為保護氣、置換氣、運載氣、反應氣等,為保證芯片加工與封裝的成品率和可靠性,其中一個重要....
凈化工程中的純氣的影響說明
在IC的加工與制造封裝中,凈化工程高純的氣體可作為保護氣、置換氣、運載氣、反應氣等,為保證芯片加工與封裝的成品率和可靠性,其中一個重要的環節,就是嚴格控制加工過程中所用氣體的純度。所謂"高純"或"超純"也不是無休止的要求純而又純,而是指把危害IC性能、成品率和可靠性的有害雜質及塵粒必須減少到一定值以下。 
  例如在IC封裝過程中,把待減薄的晶圓,劃后待粘片的晶圓,粘片固化后待壓焊的引線框架(LF)與芯粒放在高純的氮氣儲藏柜中可有效地防止污染和氧化;把高純的C02氣體混合人高純水中,可產生一定量的H+,這樣的混合水具有一定的消除靜電吸附作用,代劃片工序使用可有效地去除劃痕內和芯粒表面的硅粉雜質,以此來減少封裝過程中的芯粒浪費。
凈化工程中的難點分析
凈化工程有它的特殊性,對于這樣的廠房它的特點非常明顯,第一個造價特點貴,隨著半導體工程的發展,這樣對于工廠的品質要求越來越高,TFT工廠也是一樣,TFT工廠本身的玻璃基板的尺寸越來越大,從原來的一代線到現在的主流八代線,隨著基本尺寸大造價越來越高。第二個特點是凈化工程工期短,由于半導體工廠,TFT工廠的特點投資特點大,所有的建設方盡快短期進行生產,取得投資回報,作為施工單位來講擺在面前的一個特點就是工期要求非常緊。第三個特點是品質要求非常高,由于電子工廠它對廠房的依賴程度非常高,建廠當中的事故直接導致產品良品率的高低, 

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