在多孔性固體物質處理流體混合物時，流體中的某一組分或某些組分可被吸引到固體表面并濃集其上，此現象稱為吸附。吸附按作用力不同可分為兩種：物理吸附和化學吸附。

物理吸附是由范德華力引起的分子之間的相互作用力；化學吸附是由化學力引起的，包括固體和氣體之間電子的轉移。一般說的吸附指的是物理吸附。吸附過程是可逆過程，在吸附組分被吸附的同時，部分已被吸附的吸附組分可因分子熱運動而脫離固體表面回到氣相中去，這種現象稱為脫附。當吸附速度與脫附速度相等時，便達到了吸附平衡。平衡時，吸附的表觀過程停止，吸附劑喪失了繼續吸附的能力。

在吸附過程接近或達到平衡時，為了恢復吸附劑的吸附能力需采用一定的方法使吸附組分從吸附劑上解脫下來，稱為吸附劑的再生。吸附法治理氣態污染物應包括吸附和吸附劑再生的全部吸附劑具有高的選擇性和高的分離效果，能脫除痕量(pm級)物質，所以吸附凈化法過程。

常用于用其他方法難于分離的低濃度有害物質和排放標準要求嚴格的廢氣處理，例如用吸附法回收或凈化廢氣中有機污染物。吸附劑在使用一段時間后，吸附能力會明顯下降乃至喪失，因此要不斷地對失效吸附劑進行再生。一般的再生方法有：加熱、降壓、沖洗、置換設備和系統供應蒸汽、熱空氣等再生介質，使設備費用和操作費用大幅度增加，并且使整個吸附操作復雜，因此這是限制吸附法更廣泛使用的一個主要原因。為了不使再生過程過于頻繁，對高濃度廢氣的凈化不宜采用吸附法。