目前，小型精密機械加工方法主要有兩類：一類是 在傳統切削加工基礎上發展而來的以塑變剪切去除材料為特征的微細切削技術，包括微細車削、微細鉆削、微細立銑削、微細飛切、微細沖壓加工、微細磨料流噴射加工等；另一類是 基于特殊加工機理的特種加工方法，包括微細電加工、高能束加工、半導體材料微細加工技術、生長型微細加工等。
(1)微細切削工藝
微細切削是 指在精密及超精密切削機床上，借助高分辨率的實體工具，利用機械力的作用對工件材料直接進行去除的加工技術。其中微細車削、微細銑削加工是 其角 常用的工藝方法。
在機械制造加工行業中，使用角 廣泛的一種加工方式就是 車削加工，微細車削也屬于車削的一種，車削加工的普遍規律也同樣適用于微細車削，除了具有普通車削的特點以外，在加工制造微小型管套、微小型軸等零件方面有其的優點。此外在切削參數的選擇上也有自己的特點，如切削速度，實際選擇的切削速度常根據所用機床的動特性和切削系統的動特性選取，即選擇角 小的轉速，因為轉速越高，機床振動越大，對零件表面質量的影響越大。為了提高零件表面質量，微細車削一般都采用較小的進給量和背吃刀量。
銑削加工是 角 具柔性的切削工藝，微細銑削是 一種制造多種材料微細部件和復雜三維結構的通用方法，而且己經成為滿足微小型三維復雜形狀零件和材料多樣性加工的有效途徑，同時也是 實現微米級和中間尺度機械設備及零部件的主要制造技術之一。微細銑削加工進行微小型零件的加工時，靈活性和速度都較大，具有加工成本低、生產效率和相對精度高、相應基礎技術的研究比較成熟等特點。
(2)微細特種加工工藝
微細特種加工工藝主要包括微細電火花加工、微細高能束加工、光刻加工等。
微細電火花加工的原理同普通電火花加工并無本質區別，其精密數控機械加工的表面質量主要取決于電蝕凹坑的大小和深度，即單個放電脈沖的能量，而其加工精度則與電極損耗、伺服穩定性等因素密切相關。
微細高能束加工包含電子束微細加工和離子束微細加工。電子束加工是 在真空條件下，利用聚焦后的能量密度極高的電子束，以極高的速度沖擊到工件表面極小的面積上，在極短的時間(幾分之一微秒)內，其能量的大部分轉變為熱能，使被沖擊的工件材料達到幾千攝氏度以上的高溫，從而使材料的局部熔化和汽化，而實現加工的目的。電子束加工可用于打孔、切割、蝕刻、焊接、熱處理和曝光加工等。由于電子束能夠極微細的聚焦，甚至能聚焦到0.1μm，因此成為一種精密微細的加工方法。
離子束加工是 在真空條件下，將由離子源產生的離子經過電場加速，獲得具有一定速度的離子投射到材料表面，是 一種對材料進行成形和表面改性的加工方法。由于離子束加工應力、變形極小，適合于各種材料的微細加工，并且加工質量高。
相比于其他微細加工的方法，微細切削具有較高的加工精度、可加工材料豐富、加工柔性高、能加工復雜的三維立體結構等眾多優點，與此同時，隨著微細切削相關技術的研究和發展，微細切削己經成為小型精密零件制造的主要方法。
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